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    全自动双臂硅片清洗机

    • 型号QYS-
    • 品牌全一
    • 价格

    硅片超声波清洗机是硅片清洗的一种专业化超声波设备,适用于各种规格的单晶、多晶硅片的清洗,通过双臂机械手输送实现硅片的全自动清洗。

    1. 详细信息

    清洗对象:适用于半导体、光伏行业的单晶多晶硅片的高洁净清洗,(适用于Ф2"、Ф3"、Ф4"、Ф5"、Ф6"晶片);

    清洗介质:纯水、碱性药液;

    传输方式:双臂机械手传输;

    清洗工艺:

      溢流清洗上料槽→超声波水洗槽1→超声波碱洗槽2→超声波碱洗槽3→超声波碱洗槽4→超声波碱洗槽5→超声波水洗槽6→超声波水洗槽7→超声波水洗槽8→下料

    设备特点:

    1、超声波碱洗槽配循环过滤系统,不仅可以过滤掉液体中的残渣和油污,同时可以实现溶液的循环利用,可以有效节约水资源和溶剂。

    2、超声波水洗槽采用后道向前道溢流的方式,有效节约水资源。

    3、超声波碱洗槽和超声波水洗槽均带抛动机构,上下抛动幅度可调,使硅片表面粘附的油污和杂质更易去除。

    4、抛动支架设保护装置,防止硅片掉入槽内。

    5、所有清洗槽均可实现自动上液和排液,设废液排放专用管道。

    6、设低液位自动保护报警装置,低液位时自动关闭加热和超声,安全系数高。

    7、所有传输动作均由电气控制系统自动完成,有效节省人工。

    8、PLC触摸屏等电气控制系统具有过载保护、漏电保护、故障自动报警、联动与互锁等功能。

    9、整机框架及外封板采用SUS201不锈钢外包PP板,整体结构美观。

    10、设备两侧均设观察窗,便于实时观察工作状态。

    11、设备设排风系统,可以及时将封闭清洗室内产生的雾气及时抽到用户指定的排风管道。



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