-
-
全自动多臂硅片清洗机
- 型号QYS-
- 品牌全一
- 价格
全自动硅片清洗机是硅片清洗的一种专业化超声波设备,适用于各种规格的单晶、多晶硅片的清洗,通过多臂机械手输送实现硅片的全自动清洗。
清洗对象:适用于太阳能、半导体行业的单晶、多晶硅片的清洗;
清洗介质:纯水、碱性药液;
传输方式:多臂机械手传输;
清洗工艺:液下超声上料→超声溢流清洗槽1→超声波药液清洗槽2→超声波溢流清洗槽3→超声波药液清洗槽4→超声溢流清洗槽5→超声溢流清洗槽6→慢提拉脱水→热风循环烘干→下料
设备特点:
1、超声波发生器功率强劲、效率高、运行可靠;
2、超声波发生器采用它激式电路,配置国际先进的自动扫频电路,功耗低、消除清洗驻波、使清洗更加均匀彻底;
3、超声溢流清洗槽采用后道向前道溢流的方式,有效节约水资源;
4、超声药液清洗槽配循环过滤系统,能够保持药液的洁净度;
5、超声波溢流清洗槽和超声波药液清洗槽均带抛动系统,抛动频率及上下抛动幅度均可调;
6、设低液位自动保护报警装置,低液位时自动关闭加热和超声,安全系数高;
7、设备采用多臂机械手传输,运行平稳可靠、承载力大,清洗效率高;
8、PLC触摸屏等电气控制系统具有过载保护、漏电保护、故障自动报警、联动与互锁等功能;
9、 整体采用不锈钢材料精工制造,美观大气。设备全封闭结构,避免工作环境污染,洁净环保;
- 上一条全自动双臂硅片清洗机
- 下一条手动硅片腐蚀清洗机