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保定全一浅谈超声波硅片清洗机常见故障及解决方法

2017-07-15 13:59:46 保定市全一电子设备有限公司 阅读

全自动超声波硅片清洗线常见的故障现象如下:

1)、压蓝报警:多数是由于臂钩下行中臂钩底部碰到障碍物,导致触发压蓝保护开关等;

2)、臂钩挂蓝:多数是由于臂钩退钩不到位,臂钩变形,花篮在槽内定位不准,下料花篮输送、检测装置设计不合理等;

3)、伺服报警:伺服马达过位触发极限位或机械故障过载等;

4)、水泵过载:水泵负荷过大导致电流上升触发报警,有机械卡滞、电气整定过小等;

5)、上下料异常:上料车感应不到位,花篮感应开关检测异常,上料车完全钩动作检测异常等;

6)、无法回原点:臂上有蓝,槽盖卡滞无法动作,有相关报警未解决(比如急停开关被按下等);

7)、不加热:低液位信号异常,设定温度小于当前值,保险烧掉,固态损坏,加热管损坏或线路不良等;

8)、超声不工作:低液位信号异常,超声波控制插头问题,超声波报警,超声波保险丝烧坏无电源,自动时槽内无蓝;

9)、无法加药:储液槽有液或开关无液体感应到有液体,供酸系统故障或开关误检测,硅片机供液系统没有准备好,管道阀门没有打开,没有输入目标值;

针对以上故障现象相对应的解决方法如下:

1)、手动状态按住机械臂上行按钮可以解决,多数机型都有应急处理画面,也可以临时短接压蓝保护信号;

2)、校准臂钩,调整臂钩动作行程,检查和校准花篮定位装置,检查下料检测开关是否损坏或设计是否合理;

3)、查看触摸屏报警对象,查看伺服报警代码,触发极限位可以手动状态下反方向点动可以解决,也可以临时对应处理保护信号。过载报警,无机械异常下可以独立重启伺服;

4)、查看水泵轴承、叶轮等可以解决机械故障,电气整定电流太小可以调节变频器或热继电器保护电流解决;

5)、硅片机料车行程开关调整,花篮感觉光电开关有脏污或位置不正常等,硅片机安全钩动作气缸磁性开关调整或更换;

6)、手动操作将花篮放入对应位置,假蓝时在强制画面清除花篮,查看槽盖动作状态,看到位信号是否同步,查看相关报警;

7)、查看对应低液位信号或报警处理开关,查看设定温度,有输出时检测电流,断电后拆线检测加热管、固态继电器、交流接触器等;

8)、查看触摸屏对应低液位信号或报警处理开关,检查控制插头线路,查看电源,无蓝时超声波无需工作;

9)、处理对应开关、处理供酸系统故障、处理工业系统问题,打开对应加药管道阀门,输入加药目标值;

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