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多晶硅块料、碎料清洗机

2020-04-13 16:27:38 保定市全一电子设备有限公司 阅读

清洗对象:多晶硅块料、多晶硅碎料、边皮料

清洗介质:纯水、氢氟酸、硝酸

清洗节拍:1-20分钟可调

清洗工艺流程:

上料→酸腐槽→纯水快速冲洗槽→超声波纯水漂洗槽→水封槽→纯水快速冲洗槽→氮气切水槽→热风循环烘干槽→热风循环烘干槽→热风循环烘干槽→下料

流程总述:

        首先对各清洗槽进行上液,待所有清洗槽上液完毕,人工设置冷冻机冷却温度,根据要清洗工件,通过触摸屏设定相应的清洗工艺流程和节拍,人工将工装提篮放置在预上料位,由平面链网输送系统自动将工装提篮输送至机械手抓取位置,由机械手将上料位的工装提篮吊起,根据事先设置好的清洗流程,依次自动进行各工位的操作,待最后一个工位操作完成后,由机械手将工装提篮吊起至预下料位,由平面链网输送系统输送至下料位,人工进行下料。 

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