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全自动硅片超声波清洗线

2020-01-04 14:43:38 保定市全一电子设备有限公司 阅读

清洗对象:Ф2"、Ф3"、Ф4"、Ф5"、Ф6"晶片

清洗介质:水+碱性清洗剂

清洗工艺流程:

溢流清洗上料槽→超声波水洗槽→超声波碱洗槽→超声波碱洗槽→超声波碱洗槽→超声波碱洗槽→超声波水洗槽→超声波水洗槽→超声波水洗槽→下料

设备特点:

1、采用全自动龙门式机械手传输,自动化程度高。

2、电气控制系统采用PLC触摸屏控制。

3、设备设抛动及循环过滤系统。

4、机械手设有保护装置,当遇到碰撞、压力、倾斜等会造成机械故障或产品损伤的行为时,有感应装置能保护传动系统。

5、整机全封闭结构,设观察窗,易于维修和保养。

6、整机设排风系统,方便将室内雾气排到室外。

7、设声光报警,系统出现故障时进行报警提示,并在触摸屏上显示故障可能发生的原因,提示操作人员设备故障的器件及部位。


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